Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc.
Eigenschaften
- Endlose Drehbewegung
- Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung
- Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich
- ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung
- Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung
- Version ohne grobe Z Achse möglich
- Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und Einschwingverhalten
Um weitere Informationen zu erhalten, fragen Sie nach der Integrationsanleitung.
