ZT box je modul, který kombinuje dva stupně volnosti (v Z a Theta) v jediné jednotce. Ve směru osy Z jsou možné dva způsoby ovládání - hrubé a jemné. Tento modul lze používat v samostatném režimu, nebo instalovaný na vrchu platformy XY. Modul je zvláště vhodný při řízení výroby substrátových disků v aplikacích, jako jsou kritické rozměry a metrologie tenkých vrstev atd.

Charakteristiky

• Neomezená rotace
• Vestavěný generátor podtlaku na úrovni držáku substrátového disku
• Vestavěný gravitační kompenzátor
• Kompatibilita s čistým provozem ISO 1 díky podtlakovému sání
• Hrubá osa Z se zdvihem 12 mm pro zakládání a vyjímání substrátových disků a jemná osa Z se zdvihem 4 mm pro zaostření
• Dodat lze verzi bez hrubé osy Z
• Velmi dobrý jitter v ose Z, jakož i pohyb a vyrovnání