Mrtvý chod je chyba polohy způsobená obrácením směru pohybu. Je způsoben vůlí mezi prvky mechanického systému. Mrtvý chod rovněž ovlivňuje obousměrnou opakovatelnost. Mrtvý chod lze kompenzovat řídicí jednotkou polohy.
Součinitel tření je poměr mezi silou potřebnou k pohybu zátěže a velikostí zátěže. Existují dva součinitele tření: statický a dynamický (součinitel statického tření > součinitel dynamického tření).
Pro opakující se cyklus je pracovní cyklus poměr mezi ’aktivním’ časem a celkovým časem cyklu. Pracovní cyklus = (aktivní čas/(aktivní čas + neaktivní čas)) x 100%.
Hysterézní chyba je odchylka mezi dosaženou a požadovanou polohou, která vzniká v důsledku elastickych sil kumulovaných v posuvovém systému. Ovlivňuje přesnost a opakovatelnost v obou směrech.
Ortogonalita (pravoúhlost)
Ortogonalita je úroveň kolmosti mezi dráhou pohybu a dvěma patrovými (stacked) osami. Nejsou-li dvě dráhy pohybu ortogonální, vytvoří dráha v ose X polohovou chybu ve směru osa Y (pro stůl X-Y).
Rozlišení je nejmenší možný pohyb, kterého může systém dosáhnout. Může být definováno pro elektroniku, snímač a mechaniku.
Sigma (s) je standardní odchylka. Indikuje, jak dalece se daný proces liší od jmenovité hodnoty; čím méně, tím lépe. Pro normální rozložení pohybu, které je často předpokládáno pro polohové hodnoty, výsledek 3s=0,1 mikronu (=2 úhlové vteřiny) zaručuje, že 99,7% měření se bude pohybovat v rozmezí ±0,1 mikronu (2s=0,1 mikronu znamená 95,4% v rozmezí ±0,1 mikronu, s=0,1 mikronu znamená 68,3% v rozmezí ±0,1 mikronu) nebo ±2 úhlové vteřiny (2s=2 úhlové vteřiny znamená 95,4% v rozmezí ±2 úhlové vteřiny, s=2 úhlové vteřiny znamená 68,3% v rozmezí ±2 úhlové vteřiny).
Tepelná roztažnost je změna rozměrů a tvaru systému při změně teploty. Velikost změny závisí na velikosti součásti, úrovni změny teploty a charakteristice materiálu.
