Das Umkehrspiel ist ein Fehler bei der Positionierung, der durch die Umkehrung der Fahrtrichtung verursacht wird. Es wird durch ein Spiel zwischen den Elementen des mechanischen Systems verursacht. Das Umkehrspiel beeinflusst auch die bidirektionale Wiederholgenauigkeit. Das Umkehrspiel kann durch den Positionsregler kompensiert werden.
Der Reibungskoeffizient ist das Verhältnis der erforderlichen Kraft, die benötigt wird, um die Last zu bewegen, zur Größe dieser Last. Es gibt zwei Koeffizienten: den statischen und den dynamischen (statischer Koeffizient > dynamischer Koeffizient).
Für einen sich wiederholenden Zyklus ist der Arbeitszyklus das Verhältnis von Einschaltdauer zur Dauer des gesamten Zyklus. Arbeitszyklus = (Einschaltdauer / (Einschaltdauer + Ausschaltdauer)) x 100%.
Der Hysteresefehler ist eine Abweichung zwischen der tatsächlichen und der befohlenen Position verursacht durch Elastizität, die sich im Bewegungssystem angesammelt hat. Er beeinträchtigt die Genauigkeit und die bidirektionale Wiederholgenauigkeit.
Die Orthogonalität ist der Grad der Rechtwinkligkeit zwischen den Bewegungslinien der beiden gestapelten Achsen. Wenn die beiden Bewegungslinien nicht orthogonal sind, erzeugt eine Bewegung der Y-Achse einen Positionierungsfehler in der X-Richtung (bei einem XY-Tisch).
Die Auflösung ist die kleinstmögliche Bewegung, die von einem System erreicht werden kann. Sie kann durch die Elektronik-, den Encoder- oder auf Mechanikebene definiert sein.
Sigma (s) ist die Standardabweichung. Sie gibt an, wie weit der gegebene Prozess vom Sollwert abweicht, je niedriger desto besser. Für eine Bewegung mit Normalverteilung, die für Positionswerte oft angenommen wird, garantiert ein Resultat von 3s = 0,1µm (= 2arcsec), dass 99,7% der Messwerte sich zwischen ± 0,1µm (2s = 0,1µm führt zu 95,4% zwischen ± 0,1µm, s = 0,1 µm führt zu 68,3% zwischen ± 0,1µm) oder ± 2 arcsec (2s = 2 arcsec führt zu 95,4% zwischen ± 2 arcsec, s = 2 arcsec führt zu 68,3% zwischen ± 2arcsec) befinden.
Die Wärmeausdehnung ist die Änderung der Größe und der Form eines Systems, wenn die Temperatur verändert wird. Das Ausmaß der Änderung ist abhängig von der Größe des Bauteils, dem Grad der Temperaturänderung und den Eigenschaften des Materials.
