VULCANO XY je stanice sestávající ze tří komponentů zaměřených na kompaktní a hospodárné řešení, s mechanickým uložením a optickými snímači polohy.
V základně spodních os (Y1 & Y2) jsou vestavěny lineární motory s ocelovým jádrem v paralelním uspořádání a řízené v režimu gantry, pokud je použito řízení AccurET, dosahuje celek lepší opakovatelnosti a optimální provozní účinnosti. Vrchní osa (X) je konstruována jako jeden lineární motor. Použití technologie s ocelovým jádrem nabízí vyšší tažnou sílu, využitelnou k dosažení vyšší dynamiky a rychlosti, protože provozní teplota je poměrně nízká.
Základna horní osy (X), která je současně nosičem pohyblivé části motoru (Y1 & Y2) je vyrobena ze slitiny hliníku z důvodu optimalizace hmotnosti a dynamiky. Teplotní roztažnost pohlcují kompenzační elementy.
Na spodní základové desce jsou uložena 3 kluzná vedení. Dvě vnějsí lineární vedení základové desky VULCANO jsou opatřena kuličkovým uložením, zatímco centrální vedení je konstruováno jako válečkové vedení. Vedení jsou mechanicky spojena pružnými elementy. Některé z těchto elementů spojené s vozíky vnejšího vedení , ketré umožňují translaci ve směru osy X . Další. které jsou spřaženy s centrálním vedením dovolují rotaci kolem svislé osy. Ve vrchní ose (X) jsou vestavěna dvě lineární ložiska. Vzájemné oddělení zajišťuje další sada pružných elementů, umožňující translaci v ose Y je dnom ze dvou vedení.
VULCANO XYZ3TH vychází z platformy VULCANO XY doplněné kombinovaným modulem Z3TH. Tyto 4 stupně volnosti , umožňují rotaci 364° , dvojitou osu Z, jednu pro proces nakládání a další jemnou nastavení zaostření, stejne jako pro korekci krokování a naklápění v rozsahu ±0.1°.
Využití této platformy je zaměřeno na:
- Využití je zaměřeno na stroje pro výrobu polovodičových součástek, wafer-steppery, overlay-metrologii a metrologii tenkých filmů T
- nebo pro méně náročné aplikace flip-chip technologie montáže čipů na substrát
