Špičkové aplikace v polovodičovém průmyslu většinu času provádějí nastavení složitého zařízení, které je nějakým způsobem vázáno s žulovou základnou pohybové platformy.

Jakékoli vibrace žulové základny se projevují nepřesnostmi a delšími časy ustálení na nástrojové úrovni. Díky řešení společnosti ETEL je nyní odstranění těchto vibrací snazší a účinnější než kdykoli předtím!

Díky patentovaným nízkošumovým snímačům a homogenní, plně digitální architektuře řízení pohybu na základě technologie 1 Gb TransnET, zkracuje ETEL dobu pohybu a ustálení na nevídané hodnoty. S přesností dopředné akcelerace vyšší než 99% zůstane v žulové základně méně než 1% energie vygenerované pohybovým systémem. Hmotnost žulové základny systému aktivní izolace proto může být nízká, což zpětně snižuje celkové rozměry a hmotnost, zatímco zpracovatelské nástroje mají přímý prospěch z tiššího prostředí.

Modulární, přizpůsobitelný a servisovatelný

Konstrukčně je systém QuiET Series plně modulární a vysoce přizpůsobitelný. Díky široké škále předvolených aktivních a pasivních prvků může společnost ETEL velice rychle nalézt optimalizované řešení odpovídající vašim požadavkům. Architekturu sendvičově uspořádaných pružinových prvků, aktuátorů s využitím Lorenzovy síly a patentovaných snímačů lze přizpůsobit libovolným požadavkům systému; snadná je také servisovatelnost v terénu. Řídicí jednotky modulu QuiET a pohybové platformy jsou standardní kontroléry AccurET, které mohou být umístěné ve stejném rámu elektrického rozváděče.

Nástroj pro uvedení do provozu

K dispozici je uživatelsky přátelské grafické rozhraní. Je kompatibilní se všemi typy konfigurace pohybového systému a obsahuje:

• Automatickou optimalizaci parametrů dopředného pohybu 
• Identifikaci systému
• Vestavěné nivelační funkce