Z3T^H kombinované moduly představují rozšíření aplikačních možností modulů, které se montují na základní platformu křížových stolů XY. Z3T^H,  4 stupně volnosti, umožňuje rotaci Theta 364° T, dvojitou osu Z, jednu hrubší pro nakládání waferu a druhou jemnou pro nastavení zaostření, stejně tak jako korekci krokování a naklápění v rozsahu  ±0.1°.  Z3T^H modul je vhodnou alternativou k Z piezo aktuátorům, eliminující hysterezi a nelinearitu otevřené vazby, protože zajišťuje nižší vlečnou chybu během pohybu, opakovatelnost plynulosti pohybu na dlouhých přejezdech.

Z3T^H modul je primárně určen pro špičkové aplikace a přináší správné řešení  tam, kde je cílem:

• přesná vzájemná poloha mezi nástrojem a substrátem
• mapování tlouštky nebo zvlnění 
• zlepšení rovnoměrnosti pohybu a vyrovnání

První aplikace přinesla nasazení v litografii a řízení pracovního procesu waferu.

Charakteristiky

• 364° Theta rotace
• Korekce krokování a naklápění  ±0.1° zlepšení rovnoměrnosti pohybu a vyrovnání
• Vakuový posuv čelistí
• Zdvojená osa Z: hrubý posuv pro nakládání a odkládání a jemný posuv pro nastavení zaostření
• ISO třída čistoty prostředí 1
• Nízká radialní a axiální vůle of ±1 µm