Le module ZT combine 2 degrés de liberté, un Z et un Theta, au sein d'un même élément. Deux mouvements sont possibles en Z: un grossier et un fin. Ce module peut être utilisé de manière autonome ou monté sur une plate-forme XY. Ce module est spécialement adapté aux applications dédiées au contrôle de processus de wafer telles que thin film metrology, critical dimensions, etc.

Caractéristiques

• Mouvement rotatif infini
• Dépression intégré au niveau du support du wafer
• Compensateur de gravité intégré
• Compatible avec les salles blanches ISO1 grâce à la dépression
• Axe Z grossier avec une course de 12 mm pour le chargement/déchargement du wafer et un axe Z fin avec une course de 4 mm pour l'ajustement du focus
• Version sans axe Z grossier peut être demandée
• Excellent jitter en Z ainsi que temps de stabilisation après mouvement