VULCANO2 es una arquitectura gantry de ejes apilados basada en rodamientos mecánicos acoplados a encoders ópticos de alta gama. El uso de los renombrados motores ETEL de núcleo de hierro, junto a innovadores principios de diseño, permite alcanzar elevadas dinámicas con niveles significativamente mejorados de prestaciones geométricas y de movimiento.
Con el foco puesto en simplificar las aplicaciones de semiconductores, la plataforma se ajusta a todos los diferentes mercados y necesidades que requieren soluciones para dinámicas elevadas; de hecho, incluso el mejor footprint de su clase se distingue por maximizar su propuesta de valor del costo total de propiedad. Clientes que aspiran a conseguir rendimientos y ciclos de trabajo más elevados, o servir mayores cargas útiles sin pérdida de de repetitividad o de precisión, pueden adoptar con toda confianza un VULCANO2 estándar o una solución customizada derivada de él.
VULCANO2 representa también una solución perfecta para todos los casos de uso en los que la dinámica, los ciclos de trabajo y las cargas útiles no son tan restricitivos, pero sin embargo la precisión de posicionamiento debe mantenerse por periodos de tiempo muy largos: suministrar varias horas de precisión de navegación de nivel u ya no es ningún sueño, sino una sólida realidad con esta nuevo oferta de ETEL.
El uso de esta plataforma es apropiado, entre otros, para:
- Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa, Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada
- Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos
