DXR+旋转轴

DXR+为ETEL的回转模块，结构紧凑，重量轻，配大型空心轴，用于满足半导体和电子行业的中端应用对高性价比的要求。
 

DXR+的刚性得到显著提高，对支撑回转模块的XY平台的控制带宽有直接的影响。DXR+模块使用48 VDC至300 VDC之间总线电压工作。可用AccurET 48或300模块驱动，对于更高位置稳定性要求的应用可用AccurET VHP驱动。
 

与ETEL的许多其它模块一样，DXR+可安装在所有标准XY平台上。DXR+是单自由度模块，支持任意的角度运动。但可选配一定的角度运动范围，大约60°为一个单位。在一定条件下，DXR+的洁净度可从ISO 5至ISO 1。

DXR+旋转轴

DXR+模块是满足以下应用要求的理想选择：

  • 运动的平稳性
  • 中等精度要求（典型的跳动值大约为5 µm）
  • 位置稳定性在100 nm范围内，半径150 mm时

该模块适用于，但不限于：

  • 圆晶工序控制，圆晶切片
  • 圆晶划线
  • 激光热处理
  • 光伏电池生产
  • 等

特点

  • 直径：155 mm
  • 无齿槽电机技术（零齿槽力）确保高速稳定性
  • 总高小 / 重量轻，满足高精度的应用要求
  • 高精度非接触式光学扫描编码器
  • 无限制的角度运动
  • 大型空心轴：44 mm
  • 卡盘面带真空接口
  • 符合ISO 5级超净车间要求，甚至可达ISO 1级

主要特点

  • 双向重复精度±2 arcsec，±3西格玛
  • 定位精度

- 可达±30 arcsec（非校准）
- 可达±3 arcsec，校准后

  • 最高转速400 rpm
  • 位置稳定性精度±0.2 arcsec
  • 强大的速度稳定性控制能力

更多信息，参见相应集成手册。

说明性能数据
Modular / VHP		接口图3D模型l
DXR+ / 

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