ZAO执行器采用无摩擦轴承和轻型运动质量设计，满足极小推力和可重复性推力的应用要求和冲击力作用于接触面时小推力超限的应用要求。ZAO推力控制执行器以ETEL的无传感器推力控制算法为基础，不仅拥有极高推力控制精度（0.2 N ±10%），也拥有极高动态性能（高达20 g）。

ZAO主要面向新型半导体后段和电子产品制造应用领域，全新及先进包装技术和包装材料使这些产品的生产遇到高难度的挑战，特别是必须确保敏感的元器件或目标基体的完好性并同时保持生产设备的高产出性能。

ZAO的其它目标应用还包括贴片机、固晶机和检测机。

结合AccurET控制单元，ZAO推力控制执行器的先进解决方案是降低整体拥有成本和应对推力控制挑战的利器！

主要特点

• 总行程：27 mm
• 加速度：20 g
• 名义推力应用：0.2至2 N
• 0.2 N推力时的推力稳定性：± 3 mN
• 典型运动和推力：8.5 mm ± 0.3 mm和0.2 N ± 0.04N，60 ms内

更多信息，参见相应集成手册。