VULCANO2是一款龙门结构堆叠运控平台，该平台采用ETEL高性能有铁心直线电机，搭配高强度机械轴承和高端光电式编码器组成。
它遵照最新的运控理念，合理设计，通过改善机械结构和装配，显著提高平台整体动态性能。

该平台主要为简化半导体生产设备制造应用而设计生产，但其极高的动态稳定性能同样能满足目标市场上不同客户的需求；事实上，它是同类产品中最优秀的产品，其一流的结构紧凑性设计，最大限度地提升了平台的应用价值。如果您希望在不影响设备重复性和定位精度的基础上提高产能，提高有效负载，降低设备占空比，VULCANO2标准版或定制版 解决方案是您的理想选择。

如果你对平台的动态性能、负荷周期和有效负载的要求不那么严格，但需要平台长时间保持极高的定位精度，VULCANO2也是你的理想的选择：其提供的连续数小时的微米级定位精度，轻松应对您的需求。

该平台适用于但不限于：

• 圆晶生产控制应用，例如叠片测量，关键尺寸和薄膜测量
• 后段：特定大型面板/基体上的倒晶封装

特点

•  结构紧凑
• 有效载荷高达80 kg
• 纳米级位置稳定性
• 超短的运动和稳定时间
• 优异的位置稳定性和双向重复定位精度
• 兼容ISO 2级超净车间